真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此,我公司开创了基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
真空度测试仪参数 :
1、量测范围:1×10-5~1×10-1Pa
2、量测误差:1×10-1~1×10-1Pa中误差<10%
3、量测分辨率:10-5Pa
4、漏气的灭弧室在量测中将发生电击穿
5、允许环境:-20℃~55℃如在0℃以下测试时请先将机器通电20分钟后再使用。
6、空气湿度:<85%RH
7、电源:AC220±10%
8、外形尺寸:455×330×250mm
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