真空度测试仪原理

　　将灭弧室两触头拉开一定的开距，施加脉冲高压；将灭弧室置于螺旋线圈内或将新型电磁线圈置于灭弧室外侧，向线圈施加磁场电压，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场。这样在脉冲磁场和强电场的作用下，灭弧室中的电子作螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体的密度 成比例关系。对于不同型号的真空管 ，由于其结构不同，在同等触头开距、同等真空度、同等电场与磁场的条件下，离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定各种管型的真空度与离子电源间的对应关系曲线。当测知离子电流后，就可以通过查询该管型的离子电流－真空度曲线而获得该管型的真空度。测试电路示意图如下图所示：   

　　在常规磁控放电法测试灭弧室的真空度时，为了提高测试灵敏度，需从装置上时需要重新调整机械参数，工作量很大且需专业人士。使用新型磁线圈可以从侧面包围灭弧室，这样就不必拆卸灭弧室。同时采用单片微机进行同步控制与数据采集处理，提高了灭弧室真空度的现场测试灵敏度。

 

真空度测试仪参数 :

　　1、测量范围：1×10-5～1×10-1Pa

　　2、测量误差：1×10-1～1×10-1Pa中误差＜10%

　　3、测量分辨率：10-5Pa

　　4、漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿

　　5、允许环境：-20℃～55℃如在0℃以下测试时请先将机器通电20分钟后再使用。

6、空气湿度：＜85%RH 

7、电源：AC220±10% 

　　8、外形尺寸：455×330×250mm

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