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真空度测试仪的漏电电流怎么处理?
真空度测试仪对处在分断状态的真空灭弧室两端加高压时,真空度测试仪会有数据不等的几个微安的漏电电流,
此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室,由于真空
度测试仪周边的绝缘材料支撑件也有漏电,这此漏电的总和有更大的不稳定性和不能预测性,并且在数据上与
10E- 4Pa 数量级的真空灭弧室的电离电流相当。这时可以采用两次起动高压的方法,扣除了漏电电流,保证了
无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
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